Ko nga hopuoro MEMS kei te nuinga o te waa ko nga pukoro moroiti MEMS, nga iahiko huringa whakauru-moroiti, nga ruma oro, me nga iahiko aukati RF.Kei roto i te upoko microcapacitance MEMS he diaphragm silicon me te hiko hiko ki muri mo te tango oro.Ka taea e te diaphragm silicon te tango tika i te tohu oro me te tuku ki te iahiko whakauru moroiti ma te MEMS micro-capacitance sensor.Ko te arahiko whakauru moroiti ka huri i te tohu hiko ororongo teitei ka Whakanuia ki te tohu hiko iti-impedance, ka tātarihia e te RF anti-haruru iahiko i te wa ano, ka whakaputa i te tohu hiko e rite ana ki te iahiko o mua, ko te " kua oti te hurihanga acoustic-electrical.Ma te panui o nga tohu hiko, ka mohiohia te oro.
Wā tuku: Tihema-06-2022
